韓國FLOWELL特氣柜（Gas Cabinet），氣體流量控制箱（Gas Box by MFC），氣瓶架(Rack)、閥門箱（VMB），閥門盤（VMP），
主要應(yīng)用于：半導(dǎo)體，太陽能電池，微電子等需要超純潔凈氣體的行業(yè)。
主用用于為PECVD，MOCVD等設(shè)備提供潔凈，安全的氣體。
有單瓶柜，雙瓶柜，控制有全自動(dòng)，半自動(dòng)，手動(dòng)型