鐘罩Dome:會用在反應器系統(tǒng)內,且電漿或是化學氣體有時會在此停留,故在鐘罩的材質使用上需特別注意耐酸堿耐腐蝕,因此目前有許多半導體設備上所使用之鐘罩采用陶瓷材質,鐘罩之外表也可以配合另外Coating 其他金屬材質?;虮舅窘饘夔娬挚勺鎏沾杀砻嫣幚?。
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