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中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司

主營:4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)
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[供應(yīng)]等離子PECVD系統(tǒng)報價_等離子PECVD系統(tǒng)價格
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  • 產(chǎn)品產(chǎn)地:安徽省合肥市蜀山區(qū)科學(xué)院路10號
  • 產(chǎn)品品牌:合肥科晶材料技
  • 包裝規(guī)格:無
  • 產(chǎn)品數(shù)量:100
  • 計量單位:套
  • 產(chǎn)品單價:250000
  • 更新日期:2016-11-01 08:25:53
  • 有效期至:2017-11-01
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為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD), 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。



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